物理量センサ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007062914
Publication number (International publication number)：2008224406
Application date： Mar. 13, 2007
Publication date： Sep. 25, 2008
Summary：

【課題】従来のブリッジ回路を用いる物理量センサは、ブリッジ回路の一部を開放端にするために、接続端子の数が増えてサイズが縮小できないという課題があった。【解決手段】本発明の物理量センサは、センサの可撓部に設ける複数のピエゾ抵抗素子を用いて構成する複数のブリッジ回路を開放端の無い閉回路として構成する。各ブリッジ回路には、ピエゾ抵抗素子間に複数の接続端子を設け、各ブリッジ回路でそれぞれ1つの接続端子を共通接続し、同一電位を印加することによって、接続端子の数を減らすことができる。このような構成とすることによって、本発明の物理量センサは、そのサイズを小さくすることができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

錘部と、該錘部と所定間隔を置いて設ける支持部と、前記錘部と前記支持部とを連結する可撓部とで可動部を構成し、該可動部に設け、複数の軸方向の物理量を検出する複数の検出手段とを有し、前記検出手段同士をそれぞれ接続し、前記複数の軸方向にそれぞれ対応する複数のブリッジ回路を形成し、該ブリッジ回路を用いて物理量を検出する物理量センサにおいて、前記ブリッジ回路は前記検出手段同士が互いに接続されることによって開放端がない閉回路となるとともに、前記検出手段同士の接続部分にそれぞれ接続端子を有し、前記複数の軸方向のうち1つの軸方向に対応する前記ブリッジ回路の前記接続端子のうちの1つと、他の軸方向に対応する前記ブリッジ回路の前記接続端子のうちの1つとを短絡するか、または同一の電位を供給する配線に接続することを特徴とする物理量センサ。

IPC (3)：

G01P 15/12 , H01L 29/84 , G01P 15/18

FI (3)：

G01P15/12 D , H01L29/84 A , G01P15/00 K

F-Term (8)：

4M112AA02 , 4M112BA01 , 4M112CA21 , 4M112CA24 , 4M112CA29 , 4M112CA31 , 4M112CA33 , 4M112FA20

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

半導体加速度センサー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-281644 Applicant：日立金属株式会社

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