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J-GLOBAL ID：200903081019455144

形状計測装置および形状計測方法

Inventor： 西川 修 ,  山口 義紀 ,  東海 研
Applicant, Patent owner： 富士ゼロックス株式会社
Agent (1)： 平田 忠雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998363199
Publication number (International publication number)：2000186920
Application date： Dec. 21, 1998
Publication date： Jul. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】 小型かつ安価で、光利用効率が高く、物体表面の反射率の変化等の外的条件に左右されることなく、正確に物体までの距離を計測可能な形状計測装置および形状計測方法を提供する。【解決手段】 半導体レーザ3は、強度変調された照明光4aを出射する。平面センサ9は、対象物体6からの反射光4bと参照光4cとの合成光を検出して合成光の検出信号を出力する。半導体レーザ3は、強度変調されていない定常光からなる照明光4aを出射する。このとき、シャッタ11Cは閉状態にある。平面センサ9は、対象物体6からの反射光4bを検出し、その検出信号を出力する。距離演算部13は、合成光の検出信号に対し、定常光からなる反射光4bの検出信号に基づいて物体の反射率の影響を除去する補正を行った後、補正後の合成光の検出信号に基づいて物体までの距離を演算する。

Claim (excerpt)：

所定の周波数で強度変調された出射光を物体に向けて出射し、前記物体からの反射光と前記出射光との位相差に基づいて前記物体までの距離を計測する形状計測装置において、前記所定の周波数で強度変調された前記出射光を前記物体に向けて出射する光出射手段と、前記光出射手段から出射された前記出射光の一部を所定の方向に反射する反射部材と、前記物体からの前記反射光と前記反射部材により前記所定の方向に反射された前記出射光とを受光し、前記位相差が反映された検出信号を出力する検出手段とを備えたことを特徴とする形状計測装置。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/00

FI (2)：

G01B 11/24 A ,  G01B 11/00 B

F-Term (31)：

2F065AA06 ,  2F065AA51 ,  2F065BB05 ,  2F065DD02 ,  2F065DD11 ,  2F065EE00 ,  2F065FF13 ,  2F065FF42 ,  2F065GG06 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL21 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065LL46 ,  2F065NN01 ,  2F065NN08 ,  2F065NN19 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ02 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ33

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭53-077659