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J-GLOBAL ID：200903081045565942

半導体ウエハサイズ変換ホルダー及びその製造方法

Inventor： 斉藤 一夫 ,  石松 毅志
Applicant, Patent owner： 日清紡績株式会社
Agent (1)： 小林 雅人 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994054647
Publication number (International publication number)：1995240455
Application date： Feb. 28, 1994
Publication date： Sep. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 従来技術の難点を解決し、耐薬品性、耐熱性、耐プラズマ性を有し、しかも安価に提供することのできる半導体ウエハサイズ変換ホルダーを提供することを目的とする。【構成】 本発明の半導体ウエハサイズ変換ホルダーの構成は、実質的にガラス状カーボンで構成されていることを特徴とするものであり、又、本発明の半導体ウエハサイズ変換ホルダーの製造方法の構成は、主として炭素化することによりガラス状カーボンを与える素材よりなる組成物を半導体ウエハサイズ変換ホルダーの形状に成形し、次いで炭素化することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

実質的にガラス状カーボンで構成されていることを特徴とする半導体ウエハサイズ変換ホルダー。

IPC (5)：

H01L 21/68 ,  C23C 14/50 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/3065

FI (2)：

H01L 21/31 F ,  H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特公昭48-044636
  
• 特開平4-002146
  
• ウェハ搬送用ホルダ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-153183   Applicant：三菱電機株式会社