スペーサ散布装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：京本直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997192557
Publication number (International publication number)：1999038419
Application date： Jul. 17, 1997
Publication date： Feb. 12, 1999
Summary：

【要約】【課題】液晶基板面にスペーサを形成する際に、スペーサを噴霧する散布チャンバの内壁面や上部面へのスペーサの付着を防止し、凝集スペーサの落下をなくす。【解決手段】乾燥エア15を、イオン発生器17によりスペーサ3と同一のプラス極性に帯電させ、散布チャンバ9の上部に設置したフィルタユニット14から流入させる。その際、シャッタA18を、散布チャンバ9の内壁面にプラスイオンエアが当たるように調節し、散布チャンバ9の内壁面を常時プラス極性に帯電させ、プラス極性に帯電している噴霧スペーサ3との間で電気的に反発させる。また、シャッタB19を調節して垂直下方にプラスイオンエアを流下し、散布チャンバ9内にダウンフロー効果を発生させ、噴霧スペーサ3はこのプラスイオンエアの気流に乗り、散布チャンバ9の下部にセットされた基板上に沈下する。

Claim (excerpt)：

散布チャンバ内に液晶基板をセットし、圧送エアでスペーサを送り込んで散布ノズルから前記液晶基板上にスペーサを散布するスペーサ散布装置において、前記散布チャンバの上部にフィルタユニットを設け、散布チャンバ外からフィルタユニットを介してエアを散布チャンバ内に供給し、散布チャンバ内の気流がダウンフローを形成することを特徴とするスペーサ散布装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

粒状物散布装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-102331 Applicant：シャープ株式会社
スペーサの散布方法および散布装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-280650 Applicant：カシオ計算機株式会社
微粒子散布方法および微粒子散布装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-182338 Applicant：株式会社東芝

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