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J-GLOBAL ID：200903081309306061
表面の荒れ測定装置および方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 辰雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996052535
Publication number (International publication number)：1997222317
Application date： Feb. 16, 1996
Publication date： Aug. 26, 1997
Summary：
【要約】【課題】 簡単な構成により短時間で、上下方向の荒れの測定が行なえる装置および方法を提供する。【解決手段】 対象表面3に対し、その法線5方向から所定の角度θだけ傾いた光軸7上に対象表面の画像を結像させ、この画像を光電変換して画像データを得、この画像データ内におけるコントラストの、前記傾きの方向における位置的変化および前記所定角度とから、対象表面の荒さを得る。
Claim (excerpt)：
対象表面に対し、その法線方向から光軸を所定の角度だけ傾けて配置され、対象表面の画像を結像させる結像手段と、これによって結像された画像を光電変換して画像データを得る光電変換手段と、この画像データ内におけるコントラストの、前記傾きの方向における位置的変化および前記所定角度から対象表面の荒さを得る情報処理手段とを具備することを特徴とする荒れ測定装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 11/30 D
, H01L 21/66 J
Cited by applicant (3)
Cited by examiner (3)
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