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J-GLOBAL ID：200903081318883039

形状創成方法および形状創成装置

Inventor： 瀧野 日出雄 ,  伊藤 博 ,  柴田 規夫 ,  海老 正美 ,  田中 宏明 ,  森 勇藏
Applicant, Patent owner： 森 勇藏 ,  株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995230347
Publication number (International publication number)：1997070669
Application date： Sep. 07, 1995
Publication date： Mar. 18, 1997
Summary：

【要約】【課題】 プラズマによって生成したラジカルの反応によって加工を行う加工装置であって、曲面の加工に適した装置を提供する。【課題解決手段】 被加工物10を搭載するための支持部1と、プラズマを生成するための電極2と、被加工物10の少なくとも近傍に反応ガスを供給するためのガス供給部4と、電極2を被加工物10の加工すべき点に移動させるために、電極2を被加工物10に対して相対的に移動させる移動手段6とを有する加工装置において、電極2のプラズマが生成される面を、被加工物10の加工すべき部分の接平面と平行に保って加工を行うために、電極を傾斜させる電極傾斜手段8を配置する。

Claim (excerpt)：

被加工物に反応ガスを供給し、局部的にプラズマを生成するための電極を前記被加工物に近接させ、前記電極が生成したプラズマによって前記反応ガスのラジカルを生成し、前記被加工物と前記ラジカルとを反応させ、反応生成物を揮発させることにより前記被加工物を加工し、前記被加工物の形状を創成する方法であって、前記電極の外面のうち、前記被加工物と対向し、プラズマを生成するプラズマ生成面を、少なくとも加工前の前記被加工物の加工すべき部分に平行に保って加工を行うことを特徴とする被加工物の形状創成方法。

IPC (7)：

B23K 10/00 501 ,  B23K 10/00 502 ,  C23F 4/00 ,  G02B 3/00 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 27/14 ,  H05H 1/46

FI (7)：

B23K 10/00 501 Z ,  B23K 10/00 502 B ,  C23F 4/00 A ,  G02B 3/00 Z ,  H05H 1/46 A ,  H01L 21/302 A ,  H01L 27/14 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• ラジカル反応を用いたガラスの表面処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-254268   Applicant：森勇藏, 株式会社ニコン
• 特開平4-246184
  
• 特開平4-246184