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J-GLOBAL ID：200903081501629206

欠陥画像の分類方法及びその装置並びにそれを用いた半導体デバイスの製造方法

Inventor： 小原 健二 ,  高木 裕治 ,  中垣 亮 ,  小沢 康彦 ,  黒崎 利栄 ,  磯貝 静志
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999337196
Publication number (International publication number)：2001156135
Application date： Nov. 29, 1999
Publication date： Jun. 08, 2001
Summary：

【要約】【課題】予め教示させたデータに基づいて画像分類を行う欠陥画像の自動分類において、教示の効率を向上する。また、自動分類結果の表示方法を効果的にする。【解決手段】未教示の画像群を、ユーザが同一カテゴリとして指定した画像群との類似度に応じて並び替えて表示したり、あるいは、未教示の画像を指定すると、カテゴリ候補を表示することにより、ユーザの判断を計算機が補助する。また、カテゴリごとの特徴量分布と個々の画像を対応づけて表示することにより、カテゴリ内で例外的である画像を見つけだすことを容易にする。また、欠陥サイズに応じてグループ分けを自動的に行う。また、可変倍率により画像を撮像した場合には、画面上のスケールが同一となるよう、表示画像サイズを変更して表示する。また、自動分類結果の表示方法として、ウェハマップ、カテゴリ一覧、欠陥サイズ分布のうち、2つ以上を同時に表示し、ユーザが選択したカテゴリ、欠陥サイズに応じてウェハマップ上のプロット点が変化するようにする。

Claim (excerpt)：

被検査対象物を撮像して得た前記被検査対象物の欠陥画像を複数のカテゴリに分類する欠陥分類方法であって、複数の前記欠陥画像を、指定したカテゴリの画像の特徴に応じた配列にして画面上に表示することを特徴とする欠陥画像の分類方法。

IPC (2)：

H01L 21/66 ,  G01N 21/88

FI (4)：

H01L 21/66 J ,  H01L 21/66 A ,  H01L 21/66 Z ,  G01N 21/88 J

F-Term (19)：

2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051EB09 ,  2G051EC01 ,  2G051EC02 ,  2G051ED11 ,  2G051ED23 ,  2G051FA02 ,  4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106CA45 ,  4M106CA46 ,  4M106DB04 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23 ,  4M106DJ26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 部品検査システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-307104   Applicant：日本電子株式会社, 日本電子システムテクノロジー株式会社