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J-GLOBAL ID：200903081528823969

フレキシブル薄膜トランジスタディスプレイの製法

Inventor： 張 志祥 ,  王 文通 ,  戴 遠東 ,  林 烱▲い▼ ,  陳 麒麟 ,  廖 宗能 ,  李 啓聖
Applicant, Patent owner： 財団法人工業技術研究院
Agent (4)： 朝日奈 宗太 ,  佐木 啓二 ,  秋山 文男 ,  田中 弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003130646
Publication number (International publication number)：2004109975
Application date： May. 08, 2003
Publication date： Apr. 08, 2004
Summary：

【課題】フレキシブル薄膜トランジスタディスプレイの製法を提供する。【解決手段】ディスプレイ装置のフレキシブル金属基板として、アルミニウム合金箔、純チタン箔またはチタン合金箔である金属箔を準備する工程、フレキシブル金属基板上に絶縁層を形成する工程、および絶縁層上に薄膜トランジスタ(TFT)アレイを形成する工程からなる。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

ディスプレイのフレキシブル金属基板として、アルミニウム合金箔、純チタン箔またはチタン合金箔である金属箔を準備する工程、 前記フレキシブル金属基板上に絶縁層を形成する工程、および 前記絶縁層上に薄膜トランジスタアレイを形成する工程 からなるフレキシブル薄膜トランジスタディスプレイの製法。

IPC (7)：

G09F9/30 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1368 ,  H01L29/786 ,  H05B33/02 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

FI (9)：

G09F9/30 338 ,  G09F9/30 310 ,  G02F1/1333 500 ,  G02F1/1333 505 ,  G02F1/1368 ,  H05B33/02 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  H01L29/78 626C

F-Term (67)：

2H090HA01 ,  2H090HB03X ,  2H090HB04X ,  2H090HB06X ,  2H090HC01 ,  2H090HC09 ,  2H090HD01 ,  2H090JA01 ,  2H090JA06 ,  2H090JB01 ,  2H090JB03 ,  2H090JC07 ,  2H090JC08 ,  2H090JD13 ,  2H090JD17 ,  2H090LA04 ,  2H090LA20 ,  2H092GA12 ,  2H092HA05 ,  2H092JA24 ,  2H092JA26 ,  2H092JB07 ,  2H092MA01 ,  2H092MA05 ,  2H092NA25 ,  2H092PA01 ,  2H092PA12 ,  3K007AB11 ,  3K007AB12 ,  3K007AB13 ,  3K007AB14 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007BA07 ,  3K007CA04 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  5C094AA37 ,  5C094AA42 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA06 ,  5C094DA09 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094EB02 ,  5C094FB14 ,  5C094GB10 ,  5F110AA30 ,  5F110BB01 ,  5F110CC01 ,  5F110CC05 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD06 ,  5F110DD08 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD17 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110HL07 ,  5F110NN71 ,  5F110NN72

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• ディスプレイ用可撓性基板の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-116536   Applicant：大日本印刷株式会社
• 液晶表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-322632   Applicant：シチズン時計株式会社
• アルミニウムベース回路基板
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-089807   Applicant：スカイアルミニウム株式会社, 日本レック株式会社
• EL表示装置及び電子装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-176521   Applicant：株式会社半導体エネルギー研究所
• 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-006753   Applicant：セイコーエプソン株式会社