圧電素子、圧電アクチュエーター、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、及び電子機器

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：西和哉 , 志賀正武 , 青山正和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004017108
Publication number (International publication number)：2005210004
Application date： Jan. 26, 2004
Publication date： Aug. 04, 2005
Summary：

【課題】高い圧電定数を有する圧電体膜を備えた圧電素子と、これを用いた圧電アクチュエーター、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、及び電子機器を提供する。【解決手段】基体上に形成されたシード層5と、シード層5上に形成された圧電体膜6とを備えてなる圧電素子1である。シード層5は、ペロブスカイト型の圧電体材料からなり、かつ擬立方晶(100)に優先配向してなるものである。圧電体膜6は、ペロブスカイト型でロンボヘドラル構造を有し、かつ擬立方晶(100)に優先配向したリラクサー材料からなるものである。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基体上に形成されたシード層と、該シード層上に形成された圧電体膜とを備えてなり、前記シード層は、ペロブスカイト型の圧電体材料からなり、かつ擬立方晶(100)に優先配向してなるものであり、前記圧電体膜は、ペロブスカイト型で擬立方晶(100)に優先配向したリラクサー材料からなることを特徴とする圧電素子。

IPC (13)：

H01L41/18 , B41J2/045 , B41J2/055 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/22 , H01L41/24 , H02N2/00 , H03B5/30 , H03H9/17 , H03H9/25 , H03H9/64

FI (16)：

H01L41/18 101Z , H02N2/00 B , H03B5/30 A , H03H9/17 F , H03H9/25 A , H03H9/25 C , H03H9/64 Z , H01L41/08 D , B41J3/04 103A , H01L41/08 J , H01L41/18 101J , H01L41/22 A , H01L41/22 Z , H01L41/18 101E , H01L41/18 101F , H01L41/08 L

F-Term (24)：

2C057AF93 , 2C057AG12 , 2C057AG44 , 2C057BA03 , 2C057BA14 , 5J079AA06 , 5J079BA02 , 5J079FA04 , 5J079HA06 , 5J079KA08 , 5J097AA06 , 5J097AA21 , 5J097AA25 , 5J097BB01 , 5J097FF02 , 5J097FF03 , 5J097FF07 , 5J097KK09 , 5J097KK10 , 5J108AA07 , 5J108BB08 , 5J108CC11 , 5J108EE03 , 5J108KK01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド及びこれらの製造方法並びにインクジェットプリンタ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-030472 Applicant：セイコーエプソン株式会社

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