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J-GLOBAL ID：200903004798050924

圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド及びこれらの製造方法並びにインクジェットプリンタ

Inventor：
守谷 壮一

About 守谷 壮一


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 稲葉 良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000030472
Publication number (International publication number)：2001223404
Application date： Feb. 08, 2000
Publication date： Aug. 17, 2001
Summary：
【要約】【課題】 圧電体素子に印加される電界強度に応じて最適な鉛の過剰含有量を調整することで、圧電定数を最適化できる圧電体素子を提供する。【解決手段】 本発明では化学量論比から要求される鉛量よりも過剰の鉛を含む圧電体膜を成膜する際に、圧電体膜の膜厚をt(cm)、印加電圧をVh(kV)としたとき、-0.005≦A≦-0.0005、及び1.1≦B≦1.6の条件を満たす定数A、Bを用いて、圧電体膜に含まれる鉛の過剰比をA(Vh/t)+Bの範囲に調整する。鉛の過剰比を上記の範囲に調整することで、圧電体素子に印加される電界強度に応じて圧電定数d31を最大値に設定することができる。
Claim (excerpt)：
化学量論比から要求される鉛量よりも過剰の鉛を含む圧電体膜と、当該圧電体膜に所望の電圧を印加するための電極とを備える圧電体素子において、前記圧電体膜の膜厚をt(cm)、印加電圧をVh(kV)としたとき、前記圧電体膜に含まれる鉛の過剰比は、-0.005≦A≦-0.0005、及び1.1≦B≦1.6を満たす定数A、Bを用いて、A(Vh/t)+Bと表すことができることを特徴とする圧電体素子。
IPC (6)：
H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22
FI (8)：
H01L 41/08 C ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/18 101 C ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/18 101 F ,  H01L 41/22 Z
F-Term (16)：
2C057AF99 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP23 ,  2C057AP25 ,  2C057AP31 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP52 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057AP58 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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