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J-GLOBAL ID：200903081961457756

静電チャック付セラミックスヒーター

Inventor： 川田 敦雄 ,  狩野 正樹 ,  萩原 浩二 ,  新井 延男 ,  荒見 淳一 ,  石川 賢治
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社 ,  東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994316374
Publication number (International publication number)：1995307377
Application date： Dec. 20, 1994
Publication date： Nov. 21, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 半導体プロセスにおける昇降温プロセスに使用しても接合部に剥離の起らない静電チャック付セラミックスヒーターの提供。【構成】 電気絶縁性セラミックスからなる支持基材の表面に導電性セラミックスからなる静電チャック用電極を接合すると共に、裏面に導電性セラミックスからなる発熱層を接合し、それらの上に電気絶縁性セラミックスからなる被覆層を設けてなる静電チャック付セラミックスヒーターにおいて、該支持基材、該静電チャック用電極および該発熱層の表面粗さRmaxをともに5μm以上としてなる。

Claim (excerpt)：

電気絶縁性セラミックスからなる支持基材の表面に導電性セラミックスからなる静電チャック用電極を接合すると共に、裏面に導電性セラミックスからなる発熱層を接合し、それらの上に電気絶縁性セラミックスからなる被覆層を設けてなる静電チャック付セラミックスヒーターにおいて、該支持基材、該静電チャック用電極および該発熱層の表面粗さRmaxをともに5μm以上としてなることを特徴とする静電チャック付セラミックスヒーター。

IPC (9)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C04B 37/00 ,  C04B 41/89 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/324 ,  H02N 13/00 ,  H05B 3/14

FI (2)：

H01L 21/265 E ,  H01L 21/30 567

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-358074
  
• 特開平4-345019
  
• ウエハー加熱装置及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-303289   Applicant：日本碍子株式会社
• 静電チヤツク及び静電チヤツクに対する電圧印加方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-186854   Applicant：東陶機器株式会社