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J-GLOBAL ID：200903081981611620
多結晶シリコン機械的加工物
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994207070
Publication number (International publication number)：1996067510
Application date： Aug. 31, 1994
Publication date： Mar. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 機械的加工物であるにもかかわらず、表面が鉄原子で汚染されていない高純度の多結晶シリコンを得る。【構成】 表面の鉄原子濃度が単位表面積当り10,000原子/μm2以下である多結晶シリコン。多結晶シリコンを好適には王水、水および弗酸で順次洗浄する。例えば、硝酸:塩酸(容量比)=1:1の王水、水、1〜20重量%の弗酸でこの順に洗浄して製造する。
Claim (excerpt)：
表面の鉄原子濃度が単位表面積当り10,000原子/μm2以下であることを特徴とする多結晶シリコンの機械的加工物。
IPC (3)：
C01B 33/02
, B08B 3/08
, C01B 33/037
