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J-GLOBAL ID：200903082051155256

位置決め装置

Inventor：
牧田 義範

About 牧田 義範


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995124581
Publication number (International publication number)：1996297508
Application date： Apr. 26, 1995
Publication date： Nov. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 実質的な移動体の位置決め時間の短縮および性能を向上させ、各目標位置情報の補正量を記憶する必要がなく、移動体の移動終了時から異なる時間に行われる工程や移動履歴の変更に対しても柔軟に対応して正確な位置決めを行えるようにする。【構成】 構造体上において、移動体6を現在位置から前記構造体上の第1の部分を基準とする位置に位置決めするために前記構造体上の第2の部分を基準とする目標位置(D1)に高速に移動し位置決めする位置決め装置において、位置決め終了時における前記構造体の変形による前記第1部分に対する前記第2部分の変位量もしくはこれに相当する量を求める手段10と、この変位量もしくはこれに相当する量に基づいて前記目標位置の補正量を得、前記目標位置または現在位置を補正する手段を具備する。
Claim (excerpt)：
構造体上において移動体を現在位置から前記構造体上の第1の部分を基準とする位置に位置決めするために前記構造体上の第2の部分を基準とする目標位置に高速に移動し位置決めする位置決め装置において、位置決め終了時における前記構造体の変形による前記第1部分に対する前記第2部分の変位量もしくはこれに相当する量を求める手段と、この量に基づいて前記目標位置の補正量を得、前記目標位置または現在位置を補正する手段を具備することを特徴とする移動体の位置決め装置。
IPC (6)：
G05B 19/404 ,  B23Q 15/00 ,  B23Q 15/22 ,  G05D 3/12 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/68
FI (7)：
G05B 19/18 G ,  B23Q 15/00 C ,  B23Q 15/22 ,  G05D 3/12 T ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/68 F ,  H01L 21/68 K
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (2)

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