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J-GLOBAL ID：200903082134329809

インクジェット式記録ヘッド

Inventor： 松沢 明 ,  矢崎 士郎
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 稲葉 良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001019215
Publication number (International publication number)：2002219804
Application date： Jan. 26, 2001
Publication date： Aug. 06, 2002
Summary：

【要約】【課題】 保護膜の膜厚を減じることなく、振動部の変位量が大きく、高性能で高集積化が可能なインクジェット式記録ヘッドを提供する。【解決手段】 振動板上に少なくとも圧電体膜及び上部電極を順次積層して形成された圧電体素子と、前記圧電体素子を覆い前記振動板に密着する保護膜とを備え、前記振動板上には、前記保護膜に対する密着性が前記上部電極より高い面を有する。保護膜にはパリレンを用い、保護膜と振動板との密着性を向上させる密着層としてクロムを用いる。上部電極と保護膜との密着性が低いので、保護膜の膜厚が振動部全体の変位量に与える影響を小さくすることができ、振動部の変位量が大きくなる。振動部の変位量を大きくすることにより、インクジェット式記録ヘッドの高性能化も可能となる。

Claim (excerpt)：

振動板上に少なくとも圧電体膜及び上部電極を順次積層して形成された圧電体素子と、前記圧電体素子を覆い前記振動板に密着する保護膜とを備え、前記振動板上には、前記保護膜に対する密着性が前記上部電極より高い面を有するインクジェット式記録ヘッド。

IPC (3)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

F-Term (19)：

2C057AF37 ,  2C057AF66 ,  2C057AF93 ,  2C057AG16 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AG52 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP52 ,  2C057AP54 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 液体噴射ヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-201087   Applicant：セイコーエプソン株式会社