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J-GLOBAL ID：200903082221408600

走査型露光装置

Inventor：
小澤 謙

About 小澤 謙


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993290478
Publication number (International publication number)：1995142354
Application date： Nov. 19, 1993
Publication date： Jun. 02, 1995
Summary：
【要約】【目的】 スキャン露光方式の露光装置において、空間コヒーレンシィの高い光を露光光として使用する場合に、干渉縞に起因する感光基板上での露光量むらを小さくする。【構成】 エキシマレーザ光源1からのレーザビームをビーム整形光学系2等を介して所定の断面形状にした後、振動ミラー4を介してフライアイレンズ5に入射させ、フライアイレンズ5の後側焦点面の多数の光源像からのレーザビームを、レチクルブラインド9及びメインコンデンサーレンズ12等を介してレチクルR上の照明領域13に重畳的に照射し、照明領域13内のパターン像を投影光学系PLを介してウエハW上に露光する。ウエハWに対する目標とする積算露光量、レチクルRの走査速度等に基づいて、振動ミラー4の振り角を制御する。
Claim (excerpt)：
所定の空間コヒーレンシィを有する照明光をパルス的に発生するパルス光源と、前記照明光を入射して複数の光源像を形成するオプティカル・インテグレータと、前記複数の光源像からの照明光で所定形状の照明領域を重畳的に照明する照明光学系と、前記照明領域に対して相対的に転写用のパターンが形成されたマスク及び感光性の基板を同期して走査する相対走査手段とを有し、前記照明領域に対して相対的に前記マスク及び前記基板を走査しつつ前記マスクのパターンを逐次前記基板上に露光する走査型露光装置において、前記照明領域上に前記オプティカル・インテグレータにより形成される干渉縞を前記照明領域と前記マスクとの相対走査方向に振る位相可変手段を設け、前記パルス光源のパルス発光間での前記照明領域と前記マスクとの相対的な移動による干渉縞の移動量に、前記パルス発光間での前記位相可変手段による前記干渉縞の前記相対走査方向への振り量を加えた長さでの位相変調により、複数パルス積算後の露光量分布のコントラストが所定の値以下になるようにしたことを特徴とする走査型露光装置。
IPC (2)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (3)：
H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 516 D
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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