Pat

J-GLOBAL ID：200903082283909613

複屈折板

Inventor： 伊藤 忠義 ,  多賀 康訓 ,  鈴木 基史
Applicant, Patent owner： 株式会社豊田中央研究所
Agent (1)： 大川 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999122558
Publication number (International publication number)：2000047033
Application date： Apr. 28, 1999
Publication date： Feb. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】 レーザ光等の干渉性の高い光源を用いて位相差の面内分布の変動および温度依存性の少ない斜め蒸着複屈折板を提供する。【解決手段】 透明性ガラス基板2と、前記ガラス基板のいずれか一方の表面に形成した反射防止膜3と、前記ガラス基板のもう一方の表面に該基板の法線に対して斜め方向から誘電体材料を蒸着して形成した斜め蒸着膜4と、前記斜め蒸着膜の上に前記斜め蒸着膜の吸蔵水を保持する保護膜5とからなる。ガラス基板裏面に3層反射防止膜を付与し、更に斜め蒸着膜の上に保護膜を形成することで、レーザ光等の光源を用いて位相差を計測しても測定箇所で位相差の変動が抑えられると共に、斜め蒸着膜の上に保護膜を付与することで、温度依存性の少ない斜め蒸着複屈折板が得られた。

Claim (excerpt)：

透明性ガラス基板と、前記ガラス基板の表面に該基板の法線に対して斜め方向から誘電体材料を蒸着して形成した斜め蒸着膜と、前記斜め蒸着膜の上に前記斜め蒸着膜の吸蔵水を保持する保護膜とからなることを特徴とする複屈折板。

IPC (4)：

G02B 5/30 ,  G02B 1/10 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/08

FI (4)：

G02B 5/30 ,  C23C 14/06 P ,  C23C 14/08 N ,  G02B 1/10 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 斜め蒸着膜素子およびこれを用いた光学装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-186163   Applicant：株式会社豊田中央研究所, 株式会社ニコン
• 光学素子と光ヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-305416   Applicant：松下電器産業株式会社
• 位相差板
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-265326   Applicant：松下電器産業株式会社