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J-GLOBAL ID：200903082301273942

容量式物理量センサ

Inventor：
板倉 敏和

About 板倉 敏和


Applicant, Patent owner：
株式会社デンソー

About 株式会社デンソー


Agent (1)： 伊藤 洋二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001318467
Publication number (International publication number)：2003121457
Application date： Oct. 16, 2001
Publication date： Apr. 23, 2003
Summary：
【要約】【課題】 複数軸の容量式物理量センサにおいて、センサエレメントと自己診断周波数との共振現象を用いた自己診断を行っても、正確な自己診断が行えるようにする。【解決手段】 第1の検出部に対して自己診断用の電圧を印加するタイミングと第2の検出部に対して自己診断用の電圧を印加するタイミングを時間的にずらす。これにより、第1の検出部におけるセンサエレメントの共振が第2の検出部におけるセンサエレメントの共振に影響を与えないようにでき、センサの出力誤差を低減することができる。従って、複数軸の容量式加速度センサにおいて、センサエレメントと自己診断周波数との共振現象を用いた自己診断を行っても、正確な自己診断が行えるようにすることができる。
Claim (excerpt)：
物理量の変化に応じて変位する可動電極(1a〜1d)と、前記可動電極に対向して配置された固定電極(2a〜2d)と、自己診断でない通常動作時には容量変化を検出するための信号を前記可動電極と前記固定電極との間に周期的に印加し、自己診断時には前記容量変化を検出するための信号に代えて、自己診断を行うために前記可動電極を変位させるための信号を前記可動電極と前記固定電極との間に周期的に印加する信号印加手段(60)と、前記可動電極と前記固定電極からなる容量の変化に応じた電圧を出力するC-V変換回路(21、31)と、前記C-V変換回路の出力電圧を信号処理して前記物理量の変化に応じた信号を出力する信号処理回路(23、33)とを有し、前記可動電極、前記固定電極、前記C-V変換回路および前記信号処理回路が複数軸分備えられ、該複数軸それぞれにおける物理量検出を行うように構成されており、前記信号印加手段は、前記自己診断時には、前記複数軸それぞれの前記可動電極と前記固定電極との間に印加する信号の印加タイミングをずらすようになっていることを特徴とする容量式物理量センサ。
IPC (4)：
G01P 15/125 ,  G01P 15/18 ,  G01P 21/00 ,  H01L 29/84
FI (4)：
G01P 15/125 ,  G01P 21/00 ,  H01L 29/84 Z ,  G01P 15/00 K
F-Term (9)：
4M112AA01 ,  4M112AA02 ,  4M112AA04 ,  4M112BA07 ,  4M112CA23 ,  4M112CA26 ,  4M112CA32 ,  4M112FA11 ,  4M112FA20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • 加速度センサー
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-299195   Applicant：松本佳宣, 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
  • モノシリック加速度計
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-263209   Applicant：アナログ・ディバイセス・インコーポレーテッド

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