加速度センサー

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：石島茂男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995299195
Publication number (International publication number)：1997113534
Application date： Oct. 23, 1995
Publication date： May. 02, 1997
Summary：

【要約】【課題】シリコンマイクロマシンで構成され、多軸方向の加速度成分を検出できる加速度センサーを提供する。【解決手段】直接接合したシリコン基板表面を研磨して構造層にし、接合部分の酸化膜を犠牲層にして固定体と可動体を形成し、電極となる固定体18、28と可動体19、29との間と、電極となる可動体(マス部)33と前記シリコン基板10との間との容量変化を検出して多軸加速度センサー2を構成する。研磨によって形成された構造層は厚くでき、また、ポリシリコンではなく単結晶シリコンで構成されているので、可撓体15a、15b、25a、25b、351〜354の機械的劣化を小さくできる。また、1つの基板から成る加速度センサー2で、空間の3軸方向の加速度成分が検出でき、更に、その検出感度も平面形状を調節することで種々のレベルに設定することが可能となる。

Claim (excerpt)：

シリコン基板と、該シリコン基板上に位置する犠牲層と、該犠牲層上に位置する構造層とを有する加速度センサーであって、前記構造層がパターニングされ、その底面下の犠牲層がエッチング除去された部分で可動体が形成され、底面下の犠牲層が残された部分で固定体が形成され、前記可動体が前記固定体に弾性支持され、前記可動体の側面と前記固定体の側面とが平行に対向配置されて成るコンデンサーの容量変化と、前記可動体と前記シリコン基板とで構成されるコンデンサーの容量変化とを検出して加速度の向きと大きさとを検出するようにされたことを特徴とする加速度センサー。

IPC (3)：

G01P 15/125 , H01L 21/3065 , H01L 29/84

FI (3)：

G01P 15/125 , H01L 29/84 Z , H01L 21/302 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

加速度センサ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-108020 Applicant：日本電装株式会社

Return to Previous Page