ナノ多孔質アエロゲル用の低揮発性溶剤基前駆物質

Inventor： , , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：浅村皓 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996342341
Publication number (International publication number)：1998087316
Application date： Nov. 18, 1996
Publication date： Apr. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】雰囲気制御を行うことなく多孔率が制御された薄膜のナノ多孔質エーロゲルをデポジットし、ゲル化し、エージングし、乾燥すること。【解決手段】アエロゲル前駆物質ゾルは、金属基アエロゲル前駆物質反応体と、ポリオールを含む第1溶剤とを備え、反応体における金属原子に対する第1溶剤の分子のモル比が少なくとも1:16となっている。好ましくは第1溶剤はグリセロールであり、好ましくはこのアエロゲル前駆物質反応体は、金属アルコキシド、少なくとも一部が加水分解された金属アルコキシド、粒状金属酸化物およびそれらの組み合わせから成る群から選択できる。一般に反応体における金属原子に対する第1溶剤の分子のモル比は12:1以下であり、好ましくは反応体における金属原子に対する第1溶剤の分子のモル比は1:2〜12:1の間である。

Claim (excerpt)：

アエロゲル前駆物質反応体と、ポリオールを含む第1溶剤とを備え、前記反応体における金属原子に対する前記第1溶剤の分子のモル比が少なくとも1:16である金属基ナノ多孔質アエロゲル前駆物質ゾル。

IPC (4)：

C01B 33/16 , B01J 13/00 , H01L 21/316 , H01L 21/02

FI (4)：

C01B 33/16 , B01J 13/00 G , H01L 21/316 G , H01L 21/02 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開昭61-068314
多孔質シリカゲル又は多孔質シリカガラスの製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-226273 Applicant：日立化成工業株式会社
特開昭58-064211

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