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J-GLOBAL ID：200903082499464411

電界効果トランジスタ及びその製造方法

Inventor： 手塚 勉 ,  高木 信一 ,  水野 智久
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (7)： 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  坪井 淳 ,  橋本 良郎 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  河井 将次
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002192681
Publication number (International publication number)：2004039762
Application date： Jul. 01, 2002
Publication date： Feb. 05, 2004
Summary：

【課題】ソース端でのキャリアの移動速度を速めることができ、MOSFETの高速動作化をはかる。【解決手段】埋め込み絶縁膜12上に形成された歪みSiGe層20と、このSiGe層20上にゲート酸化膜31を介して形成されたゲート電極32と、ゲート電極32の両側でSiGe層20にp型不純物をドープして形成されたソース,ドレイン領域34,35とを備えた電界効果トランジスタにおいて、SiGe層20のチャネル領域のGe組成を、ゲートの中心付近で最大(0.35)とし、ソース,ドレイン領域34,35で最小(0.065)とした。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

Si1-x-y Gex Cy 結晶(1>x>0,1>y≧0)のチャネル層を有する電界効果トランジスタであって、 前記チャネル層のソース端近傍において、ドレイン端に向けてGe組成が増大していることを特徴とする電界効果トランジスタ。

IPC (5)：

H01L29/786 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/336 ,  H01L29/78

FI (9)：

H01L29/78 618B ,  H01L21/205 ,  H01L29/78 618C ,  H01L29/78 616V ,  H01L29/78 618E ,  H01L29/78 618A ,  H01L21/302 101B ,  H01L29/78 301B ,  H01L29/78 301S

F-Term (93)：

5F004BA04 ,  5F004DB03 ,  5F004DB07 ,  5F004EA11 ,  5F004EA13 ,  5F004EB08 ,  5F004FA02 ,  5F045AA06 ,  5F045AA07 ,  5F045AB01 ,  5F045AB02 ,  5F045AB33 ,  5F045AF02 ,  5F045AF03 ,  5F045AF20 ,  5F045BB16 ,  5F045CA05 ,  5F045DB02 ,  5F110AA01 ,  5F110AA09 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110DD13 ,  5F110EE01 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE06 ,  5F110EE08 ,  5F110EE09 ,  5F110EE14 ,  5F110EE32 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF22 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG07 ,  5F110GG11 ,  5F110GG28 ,  5F110GG33 ,  5F110GG34 ,  5F110GG41 ,  5F110GG47 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HK01 ,  5F110HK05 ,  5F110HK09 ,  5F110HK21 ,  5F110HK40 ,  5F110HM02 ,  5F110HM12 ,  5F110HM15 ,  5F110QQ19 ,  5F140AA01 ,  5F140AC28 ,  5F140BA01 ,  5F140BA05 ,  5F140BA16 ,  5F140BA17 ,  5F140BB00 ,  5F140BC12 ,  5F140BC17 ,  5F140BD07 ,  5F140BD09 ,  5F140BD11 ,  5F140BD13 ,  5F140BE07 ,  5F140BF04 ,  5F140BF05 ,  5F140BF06 ,  5F140BF07 ,  5F140BF08 ,  5F140BF10 ,  5F140BF11 ,  5F140BF18 ,  5F140BG08 ,  5F140BG14 ,  5F140BG36 ,  5F140BG40 ,  5F140BG52 ,  5F140BG53 ,  5F140BH06 ,  5F140BH30 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ08 ,  5F140BK13 ,  5F140BK21 ,  5F140BK34 ,  5F140CF04