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J-GLOBAL ID：200903082605047108

電圧制御液晶リターダーを用いるエリプソメーター

Inventor： 横山 浩 ,  多辺 由佳
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団
Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000116038
Publication number (International publication number)：2001296182
Application date： Apr. 18, 2000
Publication date： Oct. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】 短時間に簡単に、しかも高精度に試料を測定することができる電圧制御液晶リターダーを用いるエリプソメーターを提供する。【解決手段】 電圧制御液晶リターダーを用いるエリプソメーターにおいて、試料Sからの反射光を入射させる第1の液晶リターダーR1と、この第1の液晶リターダーR1からの出力光を入射させる第2の液晶リターダーR2とを配置し、前記第1の液晶リターダーR1と第2の液晶リターダーR2にかける電圧を独立に変えて、最終光強度が最小になる値をそれぞれ求め、前記第1の液晶リターダーR1の電圧から複素反射率の虚部、前記第2の液晶リターダーR2の電圧から実部を独立に求める。

Claim (excerpt)：

電圧制御液晶リターダーを用いるエリプソメーターにおいて、(a)試料からの反射光を入射させる第1の液晶リターダーと、(b)該第1の液晶リターダーからの出力光を入射させる第2の液晶リターダーとを配置し、(c)前記第1の液晶リターダーと第2の液晶リターダーにかける電圧を独立に変えて、最終光強度が最小になる値をそれぞれ求め、前記第1の液晶リターダーの電圧から複素反射率の虚部、前記第2の液晶リターダーの電圧から実部を独立に求めることを特徴とする電圧制御液晶リターダーを用いるエリプソメーター。

IPC (5)：

G01J 4/04 ,  G01N 21/21 ,  G02B 5/30 ,  G02F 1/13 505 ,  G01B 11/06

FI (5)：

G01J 4/04 A ,  G01N 21/21 Z ,  G02B 5/30 ,  G02F 1/13 505 ,  G01B 11/06 Z

F-Term (31)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065CC02 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065FF49 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ15 ,  2F065LL33 ,  2F065LL36 ,  2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059BB10 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059GG04 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059KK01 ,  2H049BA06 ,  2H049BA42 ,  2H049BB03 ,  2H049BC06 ,  2H049BC23 ,  2H088EA47 ,  2H088HA16 ,  2H088HA17 ,  2H088JA11 ,  2H088MA20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭51-129279
  
• 物体検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-119727   Applicant：株式会社ニコン
• 特開昭51-026084