感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：福沢俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992358664
Publication number (International publication number)：1994202320
Application date： Dec. 28, 1992
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】特にパターン形状に優れ、かつ感度、解像度、性能安定性、保存安定性等にも優れたレジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】感放射線性樹脂組成物は、下記式(1)で表される1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステル成分を含有することを特徴とする。(ここで、Dは水素原子または1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホニル基を示すが、Dのうちの1つ以上は1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホニル基であり、各R は相互に同一でも異なってもよく、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基または炭素数1〜4のアルコキシ基を示し、m、n、xおよびyはそれぞれ0〜5の整数であるが、5≦m+n≦10、m+x=5、n+y=5の関係を満たす。)

Claim (excerpt)：

?@ 酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性あるいはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、並びに?A 下記式(1)で表される1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステルを含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。【化1】〔式(1)において、Dは水素原子または1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホニル基を示すが、Dのうちの1つ以上は1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホニル基であり、各R は相互に同一でも異なってもよく、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基または炭素数1〜4のアルコキシ基を示し、m、n、xおよびyはそれぞれ0〜5の整数であるが、5≦m+n≦10、m+x=5、n+y=5の関係を満たす。〕

IPC (3)：

G03F 7/023 511 , G03F 7/022 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

特開平3-249654
特開平3-107163
特開昭63-271346

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