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J-GLOBAL ID:200903082696894185
光学系及び光学装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
韮澤 弘 (外7名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000374085
Publication number (International publication number):2002174769
Application date: Dec. 08, 2000
Publication date: Jun. 21, 2002
Summary:
【要約】【課題】 OCTとOCMの切り替えに伴うS/N比の低下を防ぎ、両者の観察において高いS/N比を実現するための光学系及び光学装置。【解決手段】 光源1と、光源1からの光を参照光路と信号光路に分岐する光分岐素子2と、信号光路に配置された対物レンズ3と、信号光路の光をその光路に配置された試料4に対して走査するための光走査系5と、光走査系5に入射するか、あるいは、光走査系5から射出する光束径を変換する光束径変換光学系6と、参照光路と信号光路を合成する光合成素子7と、光合成素子7により合成された光を検出するための光検出素子8とを有する光学系。
Claim (excerpt):
光源と、前記光源からの光を参照光路と信号光路に分岐する境界面を備える光分岐部材と、前記光源からの光と試料とを相対的に移動させる走査系と、前記参照光路と前記信号光路を合成する境界面を備える光合成部材と、前記光合成部材により合成された光を検出する光検出素子とを備え、前記光分岐部材と前記対物レンズの間に光束径変換光学系を配置したことを特徴とする光学系。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (9):
2H052AA07
, 2H052AB04
, 2H052AB06
, 2H052AB26
, 2H052AB29
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC34
, 2H052AF14
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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レーザ走査顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-110841
Applicant:日本電気株式会社
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特開昭61-219919
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走査型顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-097302
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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光学測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-073916
Applicant:興和株式会社
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