ウェハ支持体及び縦型ボート

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：溝上満好 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997129716
Publication number (International publication number)：1998321543
Application date： May. 20, 1997
Publication date： Dec. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】ウェハとウェハ支持体とが接着することなく、またウェハなどに損傷を与えることのないウェハ支持体及び縦型ボートを提供することを目的とする。【解決手段】ウェハ2を支持するウェハ支持体3は、少なくとも石英ガラス、炭化珪素、シリコン、及び炭化珪素とシリコンの複合体の1種類でなり、表面粗さをRaで0.05μm以上、かつRmaxで50μm以下とした。

Claim (excerpt)：

ウェハの熱処理時に用いる縦型ボートを構成するウェハ支持体であって、少なくとも石英ガラス、炭化珪素、シリコン、及び炭化珪素とシリコンの複合体の1種類からなり、表面粗さがRaで0.05μm以上、かつRmaxで50μm以下であることを特徴とするウェハ支持体。

IPC (2)：

H01L 21/22 511 , H01L 21/68

FI (2)：

H01L 21/22 511 G , H01L 21/68 N

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

半導体熱処理用の石英ガラス治具とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-259829 Applicant：信越半導体株式会社
特開平1-170019

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