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J-GLOBAL ID：200903082967000681

レーザー走査型光学顕微鏡

Inventor： 小林 幸治
Applicant, Patent owner： 興和株式会社
Agent (1)： 加藤 卓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993087693
Publication number (International publication number)：1994300974
Application date： Apr. 15, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 レーザー走査型光学顕微鏡において、光走査手段が高い走査周波数でも長寿命で、精度が高く安定な走査を行なえる構成を提供する。【構成】 レーザー光源1からのレーザー光は、音響光学光偏向素子4により第1の走査方向に沿って高周波数で小刻みに振動するように走査され、共振型ガルバノミラー8Mにより前記第1の走査方向に直交する第2の走査方向に前記周波数より低い周波数で走査され、更に、ガルバノミラー11Mにより前記第1の走査方向に平行な第3の走査方向に更に低い周波数で走査され、被検査試料15上に照射される。試料15からの反射光または透過光は、ガルバノミラー11M、8MとAOD4を介し共焦点開口24を通して受光素子26に受光され、光電変換される。その検出信号は信号処理装置27で標準のテレビ走査線方式に変換されて出力される。

Claim (excerpt)：

レーザー光源からのレーザー光を2次元的に走査すると共に対物光学系を介して微小光点に集束して被検査試料上に照射し、前記試料からの反射光または透過光を受光素子により検出して光電変換することにより前記試料の画像情報を得るレーザー走査型光学顕微鏡において、前記レーザー光を2次元的に走査するための、走査周波数の異なる少なくとも3種以上の光走査手段と、前記3種以上の光走査手段で得られるレーザー光の走査パターンに応じて、前記受光素子から得られる検出信号を標準のテレビ走査線方式に変換して出力するための信号処理手段と、を有することを特徴とするレーザー走査型光学顕微鏡。

IPC (2)：

G02B 21/00 ,  A61B 3/10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 改善された走査機構を用いた走査型顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-169946   Applicant：ジェネラル・スキャンニング・インコーポレイテッド
• 特開昭61-264314
  
• 特公平4-038325