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J-GLOBAL ID：200903083004448144

薄膜トランジスタ-用石英ガラス基板

Inventor： 滝田 正俊 ,  大塚 久利
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992034510
Publication number (International publication number)：1994067198
Application date： Jan. 24, 1992
Publication date： Mar. 11, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明はトランジスタ-の特性が向上した、液晶ディスプレイが急速に立上がることが可能な薄膜トランジスタ-用、特にはp-Si薄膜トランジスタ-用石英ガラス基板の提供を目的とするものである。【構成】 本発明の薄膜トランジスタ-用石英ガラス基板は、OH基含有量が50ppm 以下で、塩素が存在せず、しかも金属不純物、特にアルカリ金属またはアルカリ土類金属含有量が1ppm 以下であることを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

OH基含有量が50ppm 以下で、塩素を含有せず、しかも金属不純物含有量が1ppm 以下であることを特徴とする薄膜トランジスタ-用石英ガラス基板。

IPC (6)：

G02F 1/136 500 ,  C03B 20/00 ,  C03C 3/06 ,  G02F 1/1333 500 ,  C03B 8/04 ,  H01L 29/784

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-123223
  
• 光学用石英ガラスとその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-207486   Applicant：旭硝子株式会社
• ポリシリコンTFT方式LCD用石英ガラス基板
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-327150   Applicant：旭硝子株式会社
• 光学用高耐熱性石英ガラスとその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-357809   Applicant：旭硝子株式会社