走査型光学顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998032965
Publication number (International publication number)：1999231223
Application date： Feb. 16, 1998
Publication date： Aug. 27, 1999
Summary：

【要約】【課題】本発明は、異なる画像の重ね合わせを精度よく行うことができる走査型光学顕微鏡を提供する。【解決手段】試料5に対し、レーザ光源2からのレーザ光を2次元走査しながら照射し、試料5からの反射光または蛍光をピンホール板6を介し光検出器7で検出するとともに、第1の記憶部811に画像データとして一時記憶し、一方、試料5からの反射光または蛍光をTVカメラ12で撮像するとともに第2の記憶部815に画像データとして一時記憶し、倍率変換部817により第2の記憶部815の画像データによる画像を第1の記憶部811の画像データによる画像と同じ倍率に変換するとともに、画像位置ずれ算出部818により、これら画像の位置ずれ量を検出し、この位置ずれ量に基づいて第1の記憶部811の画像情報と第2の記憶部815の画像情報の位置ずれを補正した後、画像合成部814で重ね合わせ画像を生成する。

Claim (excerpt)：

試料に対し点光源を移動走査しながら照射し、該試料からの光を検出することにより画像情報を得るようにした走査型光学顕微鏡において、前記画像情報を記憶する第1の記憶手段と、前記試料からの光を撮像する撮像手段と、この撮像手段により撮像された画像情報を記憶する第2の記憶手段と、前記第1の記憶手段に記憶された画像情報と前記第2の記憶手段に記憶された画像情報の位置ずれ量を検出する位置ずれ検出手段と、この位置ずれ検出手段により検出された位置ずれ量に基づいて前記第1の記憶手段の画像情報または第2の記憶手段の画像情報の位置ずれを補正するとともに重ね合わせ画像を生成する画像合成手段とを具備したことを特徴とする走査型光学顕微鏡。

IPC (2)：

G02B 21/00 , G02B 21/36

FI (2)：

G02B 21/00 , G02B 21/36

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

形状観察装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-302152 Applicant：三菱電機株式会社
顕微鏡情報システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-025347 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
スライドガラス情報記録媒体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-025348 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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