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J-GLOBAL ID：200903083061504174

有機電界発光装置の製造方法

Inventor：
藤森 茂雄

About 藤森 茂雄

, 
姫島 義夫

About 姫島 義夫

, 
小濱 亨

About 小濱 亨


Applicant, Patent owner：
東レ株式会社

About 東レ株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998286466
Publication number (International publication number)：1999214154
Application date： Oct. 08, 1998
Publication date： Aug. 06, 1999
Summary：
【要約】【課題】有機電界発光素子の特性を劣化させることなく幅広い蒸着条件下で高精度な微細パターニングを可能とし、しかも、発光装置の構造を限定することなく比較的簡略な工程で高い安定性を実現することである。【解決手段】基板上に形成された第一電極と、少なくとも有機化合物からなる発光層を含み前記第一電極上に形成された薄膜層と、前記薄膜層上に形成された複数の第二電極とを含み、前記基板上に複数の発光領域を有する有機電界発光装置の製造方法であって、少なくとも一部分が前記薄膜層の厚さを上回る高さをもつスペーサーを前記基板上に形成する工程と、開口部を横切るようにして形成された補強線を有するシャドーマスクを前記スペーサー層に密着させた状態で蒸着物を蒸着せしめることによりパターニングする工程とを含むことを特徴とする有機電界発光装置の製造方法。
Claim (excerpt)：
基板上に形成された第一電極と、少なくとも有機化合物からなる発光層を含み前記第一電極上に形成された薄膜層と、前記薄膜層上に形成された複数の第二電極とを含み、前記基板上に複数の発光領域を有する有機電界発光装置の製造方法であって、少なくとも一部分が前記薄膜層の厚さを上回る高さをもつスペーサーを前記基板上に形成する工程と、開口部を横切るようにして形成された補強線を有するシャドーマスクを前記スペーサーに密着させた状態で蒸着物を蒸着せしめることによりパターニングする工程とを含むことを特徴とする有機電界発光装置の製造方法。
IPC (5)：
H05B 33/10 ,  C09K 11/06 645 ,  G09F 9/00 353 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/22
FI (6)：
H05B 33/10 ,  C09K 11/06 645 ,  G09F 9/00 353 ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/22 Z ,  H05B 33/22 D
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (6)
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