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J-GLOBAL ID：200903083158695551

透明導電膜及びその作製方法

Inventor： 宇城 共子 ,  谷口 浩 ,  赤木 与志郎
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 藤本 博光
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992299859
Publication number (International publication number)：1994150724
Application date： Nov. 10, 1992
Publication date： May. 31, 1994
Summary：

【要約】【目的】 透光性が良好で、電気抵抗が低く、大電流用電極として使用できる透明導電膜及びその作製方法を提供すること。【構成】 基板1の上面に(100)方向に結晶配向したITO膜2内の膜厚方向に一定周期毎に非晶質層3,3を設けたこと。

Claim (excerpt)：

基板面に(100)方向に結晶配向したスズ添加酸化インジウム膜を設けたことを特徴とする透明導電膜。

IPC (4)：

H01B 5/14 ,  C23C 14/08 ,  C30B 29/16 ,  H01B 13/00 503

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭63-089436
  
• 特開平4-173958
  
• 特開平1-311511
  
• 透明導電体材料
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-150479   Applicant：シャープ株式会社