現像装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：福島祥人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007296333
Publication number (International publication number)：2008100228
Application date： Nov. 15, 2007
Publication date： May. 01, 2008
Summary：

【課題】均一な現像処理を行なうことができる現像装置を提供する。【解決手段】現像液吐出ノズル11のノズル本体16には、鉛直下向きに延びかつ底面17で開口するスリット状吐出口15が設けられる。スリット状吐出口15の内壁面21およびノズル本体部15の底面17は親水性材料により形成される。現像処理時に基板を基板保持部により静止状態で保持する。基板保持部により保持された基板外の一方側の移動開始位置から現像液吐出ノズル11の移動を開始させた後、現像液吐出ノズル11が基板保持部に保持された基板の一方側の端縁に到達するまでに現像液がスリット状吐出口15に沿って連続的に帯状に垂下するように現像液吐出ノズル11による現像液の吐出を開始させる。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

基板を水平姿勢で保持する基板保持手段と、現像液を吐出するためのスリット状吐出口を有する現像液吐出ノズルと、前記基板保持手段に静止状態で保持された基板に対して前記現像液吐出ノズルを相対的に移動させる移動手段と、前記現像液吐出ノズルおよび前記移動手段を制御する制御手段とを備え、前記スリット状吐出口の吐出幅は、基板幅と同じかまたはそれよりも大きく設定され、前記制御手段は、前記基板保持手段により保持された基板外の一方側の移動開始位置から前記現像液吐出ノズルの移動を開始させた後、前記現像液吐出ノズルが前記基板保持手段に保持された基板の前記一方側の端縁に到達するまでに現像液が前記スリット状吐出口に沿って連続的に帯状に垂下するように前記現像液吐出ノズルによる現像液の吐出を開始させ、前記現像液吐出ノズルの前記スリット状吐出口の内壁面が親水性を有することを特徴とする現像装置。

IPC (3)：

B05C 5/02 , H01L 21/027 , B05C 11/10

FI (3)：

B05C5/02 , H01L21/30 569C , B05C11/10

F-Term (13)：

4F041AA05 , 4F041AA06 , 4F041AB01 , 4F041CA03 , 4F041CA21 , 4F042AA06 , 4F042AA07 , 4F042AA08 , 4F042BA04 , 4F042BA08 , 4F042DF32 , 5F046LA04 , 5F046LA19

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

特開昭63-018627号

Cited by examiner (7)

処理方法及び処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-139364 Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
液体吐出用管状材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-030203 Applicant：株式会社リコー
処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-245906 Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社

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