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J-GLOBAL ID：200903083356061061

圧電アクチュエータ

Inventor： 鈴木 瑞明 ,  谷 和夫 ,  前田 英孝 ,  鈴木 陽子
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998130246
Publication number (International publication number)：1999330577
Application date： May. 13, 1998
Publication date： Nov. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】 圧電アクチュエ-タの効率を改善し、振動振幅を向上させること。【解決手段】 エポキシ接着剤などの樹脂を用いることなく、金属振動体1に対し圧電体2をガスデポジション法を用いて形成する。密着性およびPZTの結晶性向上のため、チタン、窒化チタンまたは酸化チタンからなる中間層3を設ける。

Claim (excerpt)：

アルミニウム、アルミニウム合金、またはステンレス鋼などチタン以外の金属からなる金属振動体と接着剤などの樹脂層を含むことなくガスデポジション法により形成された圧電体層を有し、交流電圧を印加された圧電体の伸縮作用により振動動作を生じることを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (2)：

H01L 41/09 ,  H02N 2/00

FI (2)：

H01L 41/08 C ,  H02N 2/00 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 圧電振動子およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-098743   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 圧電応用素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-030385   Applicant：株式会社ニコン