移動ステージ装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊東哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996079305
Publication number (International publication number)：1997243316
Application date： Mar. 08, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】ステージ移動中のミラーの弾性振動を抑制し、レーザ干渉計によるより精密な位置計測および位置決めを可能にする。【解決手段】所定の基準面に沿って移動自在である保持盤2と、該保持盤の位置を計測光Mによって計測する位置計測手段3と、前記保持盤上に載置され前記計測光を反射するミラー1を有する移動ステージ装置において、ミラー1に軽量化のための穴を設ける。

Claim (excerpt)：

所定の基準面に沿って移動自在である保持盤と、該保持盤の位置を計測光によって計測する位置計測手段と、前記保持盤上に載置され前記計測光を反射するミラーを有する移動ステージ装置において、前記ミラーに軽量化のための穴を設けたことを特徴とする移動ステージ装置。

IPC (4)：

G01B 11/00 , G03F 9/00 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (4)：

G01B 11/00 A , G03F 9/00 H , H01L 21/68 K , H01L 21/30 503 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

移動ステージ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-271245 Applicant：キヤノン株式会社
特開平3-131442

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