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J-GLOBAL ID：200903083568571183

レーザ加工装置

Inventor：
松本 康成

About 松本 康成

, 
西田 聡

About 西田 聡

, 
杉原 和郎

About 杉原 和郎


Applicant, Patent owner：
三菱電機株式会社

About 三菱電機株式会社


Agent (4)： 高橋 省吾 ,  稲葉 忠彦 ,  村上 加奈子 ,  中鶴 一隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003397067
Publication number (International publication number)：2005152972
Application date： Nov. 27, 2003
Publication date： Jun. 16, 2005
Summary：
【課題】 ミラーの熱変形による曲率変化を抑え、ワーク上に集光されたレーザビームのビーム径の変化を低減できるレーザ加工装置を得るものである。また、ミラーもしくはレンズの冷却能力を高め、ミラーの熱破壊を防止するレーザ加工装置を得るものでもある。【解決手段】 透過型ミラー51の側面と水冷フランジ52とミラーホルダー53とOリング56,57,58にて囲まれた冷却水経路59を設け、水冷フランジ52に設けられた冷却水入口54から冷却水を入水し、冷却水は透過型ミラー51の側面に接した冷却水経路59のA点に達し、そこから2つの経路に分かれ、透過型ミラー51の側面に接し透過型ミラー51の側面を直接冷却しながら透過型ミラー51の円周上を、一方はB点を通過しD点に到達し、もう一方はC点を通過しD点に到達する。D点に到達した冷却水は水冷フランジ52に設けられた冷却水出口55から排水される。【選択図】 図4
Claim (excerpt)：
レーザ発振器と、 前記レーザ発振器から出力されたレーザビームを被加工物へ照射する加工ヘッドと、 前記レーザ発振器から前記加工ヘッドへとレーザビームを導く光学系と、 前記レーザ発振器と前記加工ヘッドと前記光学系の少なくともいずれか1つに配置された反射型ミラーと、 前記反射型ミラーを冷却する冷却手段とを備え、 前記冷却手段は、 前記反射型ミラーのレーザビーム入射面と、前記入射面と反対側の裏面と、前記入射面と前記裏面との間の側面との3面のうち、前記側面を冷却するものであることを特徴とする、 レーザ加工装置。
IPC (3)：
B23K26/06 ,  G02B5/08 ,  G02B7/182
FI (3)：
B23K26/06 Z ,  G02B5/08 F ,  G02B7/18 Z
F-Term (11)：
2H042DB13 ,  2H042DE06 ,  2H042DE07 ,  2H043CB03 ,  2H043CE00 ,  4E068CA05 ,  4E068CB06 ,  4E068CD12 ,  4E068CD14 ,  4E068CH08 ,  4E068CJ07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)
  • レーザ加工機
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-069404   Applicant：三菱電機株式会社
  • 特開平3-257979号公報(3頁左段、図3)
  • 反射鏡の保持方法、反射鏡及び露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-125562   Applicant：株式会社ニコン
Cited by examiner (2)

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