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J-GLOBAL ID：200903083758215839

水溶性樹脂組成物

Inventor：
神田 崇

About 神田 崇

, 
田中 初幸

About 田中 初幸


Applicant, Patent owner：
クラリアント インターナショナル リミテッド

About クラリアント インターナショナル リミテッド


Agent (1)： 鐘尾 宏紀 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999182778
Publication number (International publication number)：2001019860
Application date： Jun. 29, 1999
Publication date： Jan. 23, 2001
Summary：
【要約】【目的】レジストパターン段差上での塗布特性およびパターン微細化の際の寸法制御性に優れた、レジストパターンから供給される酸によって架橋、硬化される水溶性樹脂組成物を提供する。【構成】水溶性樹脂組成物は、(1)水溶性樹脂、(2)水溶性架橋剤、(3)アセチレンアルコール類、アセチレングリコール類、アセチレンアルコール類のポリエトキシレートおよびアセチレングリコール類のポリエトキシレートから選ばれた少なくとも1種の界面活性剤および(4)水または水と水可溶性溶剤の混合物からなる溶剤を含む。この水溶性樹脂組成物はレジストパターン上に塗布され、加熱され、未架橋の水溶性樹脂被覆層が現像、除去される。これにより、トレンチパターンやホールパターンが実効的に微細化される。
Claim (excerpt)：
水溶性樹脂、水溶性架橋剤、界面活性剤および溶剤を含み、酸の存在により架橋反応を生じる水溶性樹脂組成物において、前記界面活性剤がアセチレンアルコール類、アセチレングリコール類、アセチレンアルコール類のポリエトキシレートおよびアセチレングリコール類のポリエトキシレートから選ばれた少なくとも1種であることを特徴とする水溶性樹脂組成物。
IPC (10)：
C08L101/14 ,  C08K 5/05 ,  C08K 5/16 ,  C08L 29/04 ,  C08L 29/14 ,  C08L 61/20 ,  C08L 71/02 ,  G03F 7/11 501 ,  G03F 7/40 511 ,  H01L 21/027
FI (10)：
C08L101/14 ,  C08K 5/05 ,  C08K 5/16 ,  C08L 29/04 A ,  C08L 29/14 ,  C08L 61/20 ,  C08L 71/02 ,  G03F 7/11 501 ,  G03F 7/40 511 ,  H01L 21/30 570
F-Term (39)：
2H025AA00 ,  2H025AB16 ,  2H025DA02 ,  2H025FA39 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096CA20 ,  2H096HA05 ,  2H096HA30 ,  2H096JA04 ,  4J002BE02W ,  4J002BE04W ,  4J002BE06W ,  4J002BG01W ,  4J002BG07W ,  4J002BH01W ,  4J002BJ00W ,  4J002CC16W ,  4J002CC18W ,  4J002CC23X ,  4J002CC24X ,  4J002CF01W ,  4J002CH02W ,  4J002CH02Y ,  4J002CL07W ,  4J002CM01W ,  4J002CM02W ,  4J002EC037 ,  4J002EC047 ,  4J002ED037 ,  4J002ET016 ,  4J002EU186 ,  4J002FD14X ,  4J002FD146 ,  4J002FD31Y ,  4J002FD317 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ05 ,  5F046AA28
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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