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J-GLOBAL ID：200903083824855275

反射測定装置および反射測定方法

Inventor： 西島 辰巳
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (2)： 西 和哉 ,  志賀 正武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007224397
Publication number (International publication number)：2009058287
Application date： Aug. 30, 2007
Publication date： Mar. 19, 2009
Summary：

【課題】試料の設置場所や寸法にかかわらず、試料を測定することができる反射測定装置および反射測定方法を提供する。【解決手段】光源1と、検出器2と、を含む装置本体20を備え、測定光L1を射出する光射出部11と、反射光L2を受光する受光部12と、が形成された光学系ユニット10を備え、光源1と光射出部11とが測定光用光ファイバケーブルC1を介して接続され、受光部12と検出器2とが反射光用光ファイバケーブルC2を介して接続され、光学系ユニット10が装置本体20に対して相対的に移動可能に設けられていることを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

光源から射出された測定光を被測定面に対して照射し、その反射光を検出器によって検出する反射測定装置において、 前記光源と、前記検出器と、を含む装置本体を備え、 前記測定光を射出する光射出部と、前記反射光を受光する受光部と、が形成された光学系ユニットを備え、 前記光源と前記光射出部とが測定光用光ファイバケーブルを介して接続され、 前記受光部と前記検出器とが反射光用光ファイバケーブルを介して接続され、 前記光学系ユニットが前記装置本体に対して相対的に移動可能に設けられていることを特徴とする反射測定装置。

IPC (1)：

G01N 21/35

FI (1)：

G01N21/35

F-Term (9)：

2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059CC12 ,  2G059EE02 ,  2G059GG04 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059KK01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 高感度反射測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-062558   Applicant：日本分光株式会社