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J-GLOBAL ID：200903070254081721

高感度反射測定装置

Inventor：
曽我 順顕

About 曽我 順顕

, 
峯尾 弘

About 峯尾 弘

, 
赤尾 賢一

About 赤尾 賢一


Applicant, Patent owner：
日本分光株式会社

About 日本分光株式会社


Agent (1)： 岩橋 祐司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004062558
Publication number (International publication number)：2005249674
Application date： Mar. 05, 2004
Publication date： Sep. 15, 2005
Summary：
【課題】本発明の目的は、測定の高感度化を簡単な構成で行うことのできる高感度反射測定装置を提供することにある。【解決手段】分析装置10の光出射手段14と検出手段16との間の光路X1(X4)上に設けられ、試料測定面20に対する測定光22の入射角θを該試料測定面20に直交する方向に対して70度以上90度未満とし、該試料測定面20よりの反射光24に基づいて該試料測定面20に関する情報を得る際に用いられる高感度反射測定装置12において、該試料測定面20に対する該測定光22の入射角θが70度以上90度未満の範囲内で所望の角度となるように該光出射手段14よりの測定光22の光路を曲げ(X1-X2)、かつ前記測定光22を所望の振動方向を持つ直線偏光として透過し、前記試料測定面20に入射させる入射側光学素子28を備えることを特徴とする高感度反射測定装置12。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
分析装置の光出射手段と検出手段との間の光路上に設けられ、試料測定面に対する測定光の入射角を前記試料測定面に直交する方向に対して70度以上90度未満とし、前記試料測定面よりの反射光に基づいて前記試料測定面に関する情報を得る際に用いられる高感度反射測定装置において、 前記試料測定面に対する測定光の入射角が70度以上90度未満の範囲内で所望の角度となるように前記光出射手段よりの測定光の光路を曲げ、かつ前記測定光を所望の振動方向を持つ直線偏光として透過し、前記試料測定面に入射させる入射側光学素子を備えることを特徴とする高感度反射測定装置。
IPC (1)：
G01N21/35
FI (1)：
G01N21/35 Z
F-Term (10)：
2G059AA03 ,  2G059BB10 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE10 ,  2G059FF09 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ19 ,  2G059KK01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (6)
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