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J-GLOBAL ID：200903083843314692

光配向用偏光光照射装置

Inventor：
石井 一正

About 石井 一正

, 
後藤 学

About 後藤 学


Applicant, Patent owner：
ウシオ電機株式会社

About ウシオ電機株式会社


Agent (1)： 長澤 俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003141665
Publication number (International publication number)：2004347668
Application date： May. 20, 2003
Publication date： Dec. 09, 2004
Summary：
【課題】光配向膜に照射する偏光光照射装置において、光照射面における偏光軸のばらつきを少なくすること。【解決手段】ランプ1が放射する紫外線を含む光は、集光鏡2で集光され、第1の平面鏡3、インプットレンズ5を介して偏光素子6に入射する。偏光素子6から出射した偏光光は光入射側レンズ群41と光出射側レンズ群42から構成されるインテグレータレンズ4に入射する。光入射側レンズ群41は、複数のシリンドリカルレンズを配列した第1、第2のシリンドリカルレンズ・アレイ41a,41bから構成され、第1、第2のシリンドリカルレンズ・アレイ41a,41bのシリンドリカルレンズの配列方向は直交している。インテグレータレンズ4から出射した偏光光は、シャッタ7、第2の平面鏡8、コリメータレンズ9を介してワークステージWS上に載置された、ワークWに照射される。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
偏光素子により偏光した光を、光入射側のレンズ群と、光出射側のレンズ群とを離間して配置したインテグレータレンズに入射し、照度分布を均一にして照射する光配向用偏光光照射装置において、 上記インテグレータレンズの光入射側のレンズ群は、複数のシリンドリカルレンズを配列させた第1のシリンドカルレンズ・アレイと、 上記第1のシリンドカルレンズ・アレイの光出射側に近接して配置され、第1のシリンドカルレンズ・アレイのシリンドリカルレンズの配列方向と直交する方向に複数のシリンドリカルレンズが配列された第2のシリンドカルレンズ・アレイとからなり、 上記第2のシリンドリカルレンズ・アレイのシリンドリカルレンズは、第1のシリンドリカルレンズ・アレイに向かって凸になるように配置されていることを特徴とする光配向用偏光光照射装置。
IPC (4)：
G02F1/1337 ,  G02B3/00 ,  G02B3/06 ,  G02B19/00
FI (4)：
G02F1/1337 ,  G02B3/00 A ,  G02B3/06 ,  G02B19/00
F-Term (14)：
2H052BA02 ,  2H052BA09 ,  2H052BA14 ,  2H090HC05 ,  2H090HC13 ,  2H090HC14 ,  2H090HC18 ,  2H090HC19 ,  2H090HD14 ,  2H090JB02 ,  2H090JC06 ,  2H090LA09 ,  2H090LA12 ,  2H090LA20
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (2)

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