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J-GLOBAL ID：200903083853358639

2次イオン質量分析装置用試料ホルダ及びその位置調整方法

Inventor：
児玉 紀行

About 児玉 紀行

, 
峰地 輝

About 峰地 輝


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 加藤 朝道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999367488
Publication number (International publication number)：2001183317
Application date： Dec. 24, 1999
Publication date： Jul. 06, 2001
Summary：
【要約】【課題】表面プレートの撓みを防止するとともに、各試料の傾斜角度差を精度よくかつ迅速に測定できる2次イオン質量分析装置用試料ホルダ及びその測定方法を提供すること。【解決手段】2次イオン質量分析装置に使用される2次イオン質量分析装置用試料ホルダにおいて、所定位置に所定数の窓部を有する表面板と、前記表面板の裏面における前記窓部の周囲の面に試料を押し付けて前記表面板に試料を当接保持する押圧部材と、前記表面板の裏面に配設されるとともに前記表面板の撓みを防止する梁部を有する本体と、を備え、前記梁部ないし台の一部は、前記窓部から露出することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
2次イオン質量分析装置に使用される2次イオン質量分析装置用試料ホルダにおいて、所定位置に所定数の窓部を有する表面板と、前記表面板の裏面における前記窓部の周囲の面に試料を押し付けて前記表面板に試料を当接保持する押圧部材と、前記表面板の裏面に配設されるとともに前記表面板の撓みを防止する梁部を有する本体と、を備え、前記表面板の裏面における前記窓部の周囲の面は、前記梁部に近い位置に存在するとともに、前記窓部の周囲の裏面側のエッジから前記梁部までの幅が狭いことを特徴とする2次イオン質量分析装置用試料ホルダ。
IPC (4)：
G01N 23/225 ,  G01N 27/62 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/252
FI (4)：
G01N 23/225 ,  G01N 27/62 F ,  H01J 37/20 A ,  H01J 37/252 B
F-Term (18)：
2G001AA05 ,  2G001AA07 ,  2G001BA06 ,  2G001CA05 ,  2G001GA08 ,  2G001GA13 ,  2G001JA08 ,  2G001KA01 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12 ,  2G001QA02 ,  2G001QA10 ,  2G001RA01 ,  5C001AA01 ,  5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001CC05 ,  5C033QQ05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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