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J-GLOBAL ID：200903083858717467

水酸アパタイト質膜の形成方法

Inventor： 小川 賢治 ,  大和田 仁 ,  山下 仁大
Applicant, Patent owner： 秩父小野田株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994259193
Publication number (International publication number)：1996101146
Application date： Sep. 29, 1994
Publication date： Apr. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 表面抵抗が低く、センサーとして用いることが可能な水酸アパタイト質膜の形成法を提供する【構成】 ターゲット材としてリン酸カルシウム質を、スパッタガスとして不活性ガスに炭酸ガスを混入したものを用い、スパッタリング法によって基材上に膜を形成することにより、従来の方法によって形成されたアパタイト質膜と比較して表面抵抗が低く、かつ炭酸ガス分圧に対する応答性の優れた水酸アパタイト質膜を形成することを可能とした。

Claim (excerpt)：

ターゲット材としてリン酸カルシウム質を、スパッタガスとして不活性ガスに炭酸ガスを混入したものを用い、スパッタリング法によって基材上に膜を形成することを特徴とする水酸アパタイト質膜の形成方法

IPC (6)：

G01N 27/04 ,  C01B 25/32 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/58 ,  G01N 27/12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• リン酸カルシウム質膜の形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-108711   Applicant：小野田セメント株式会社
• 特開昭58-109049
  
• 特開昭58-166249