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J-GLOBAL ID：200903083939547558

放射線用シンチレータプレートの製造方法及び放射線画像撮影装置

Inventor：
関口 満

About 関口 満

, 
永田 康史

About 永田 康史


Applicant, Patent owner：
コニカミノルタエムジー株式会社

About コニカミノルタエムジー株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007023896
Publication number (International publication number)：2008190929
Application date： Feb. 02, 2007
Publication date： Aug. 21, 2008
Summary：
【課題】蒸着装置により基板上に蛍光体層を蒸着する際に、蒸着時の輻射熱で薄い基板が変形し、蒸着膜が均一に堆積できないという問題がある。これに対して、基板を厚くすると、放射線の吸収が大きくなる等の問題がある。【解決手段】基板に放射線が照射されることにより光を発する蛍光体層を有する放射線用シンチレータプレートの製造方法であって、基板の面上に蛍光体層を形成した後、基板の裏面側をエッチングして、基板の厚さを0.5mm以下の厚さに作製する放射線用シンチレータプレートの製造方法。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
基板に放射線が照射されることにより光を発する蛍光体層を有する放射線用シンチレータプレートの製造方法であって、前記基板の面上に前記蛍光体層を形成した後、前記基板の裏面側をエッチングして、前記基板の厚さを0.5mm未満の厚さに作製することを特徴とする放射線用シンチレータプレートの製造方法。
IPC (5)：
G21K 4/00 ,  G01T 1/20 ,  H01L 31/09 ,  H01L 27/14 ,  C23C 14/58
FI (7)：
G21K4/00 A ,  G01T1/20 G ,  G01T1/20 E ,  G01T1/20 L ,  H01L31/00 A ,  H01L27/14 K ,  C23C14/58 Z
F-Term (30)：
2G083AA02 ,  2G083BB01 ,  2G083CC01 ,  2G083CC04 ,  2G083DD11 ,  2G083EE07 ,  2G088EE29 ,  2G088FF02 ,  2G088GG19 ,  2G088GG20 ,  2G088JJ10 ,  2G088JJ37 ,  2G088JJ40 ,  4K029BA21 ,  4K029CA01 ,  4K029DA08 ,  4K029DB18 ,  4K029EA08 ,  4K029GA00 ,  4K029JA02 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA03 ,  4M118CA02 ,  4M118CA32 ,  4M118CB11 ,  4M118GA10 ,  5F088BB07 ,  5F088JA17 ,  5F088LA08
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 国際公開第2003/096427号パンフレット
Cited by examiner (4)
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