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J-GLOBAL ID：200903066139434460

膜堆積装置および膜堆積方法

Inventor： 赤木 清 ,  青木 圭一
Applicant, Patent owner： コニカミノルタホールディングス株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005189656
Publication number (International publication number)：2007009255
Application date： Jun. 29, 2005
Publication date： Jan. 18, 2007
Summary：

【課題】 基材の温度制御が容易にでき、かつ基材の変形を小さく抑えて基材を保持することで堆積膜の性能や品質の高い堆積膜製品を得ることができる膜堆積装置及び膜堆積方法を提供する。【解決手段】 真空チャンバと、真空チャンバ内に基材を保持する基材ホルダと蒸発源とを備え、基材の表面に膜を堆積する膜堆積装置において、基材ホルダは、基材の裏面と接して基材を所定の温度にする熱源からの熱を伝達する蒸発源と対向する面と、基材に対し基材の厚み方向と直交する方向に張力を付与する張力付与保持手段とを有する。【選択図】 図3

Claim (excerpt)：

真空チャンバと、前記真空チャンバ内に基材を保持する基材ホルダと蒸発源とを備え、前記基材の表面に膜を堆積する膜堆積装置において、 前記基材ホルダは、前記基材の裏面と接して該基材を所定の温度にする熱源からの熱を伝達する前記蒸発源と対向する面と、 前記基材に対し該基材の厚み方向と直交する方向に張力を付与する張力付与保持手段とを有することを特徴とする膜堆積装置。

IPC (4)：

C23C 14/50 ,  C23C 16/458 ,  G01T 1/00 ,  G21K 4/00

FI (4)：

C23C14/50 B ,  C23C16/458 ,  G01T1/00 B ,  G21K4/00 L

F-Term (20)：

2G083AA03 ,  2G083BB01 ,  2G083CC04 ,  2G083CC10 ,  2G083DD11 ,  2G083EE07 ,  4H001CA08 ,  4H001XA35 ,  4H001XA55 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029DA08 ,  4K029JA02 ,  4K029JA05 ,  4K029JA06 ,  4K030GA01 ,  4K030GA02 ,  4K030GA05 ,  4K030KA23 ,  4K030LA11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 蛍光体シートの製造方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-159119   Applicant：富士写真フイルム株式会社
• 基板への蒸着方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-175364   Applicant：富士写真フイルム株式会社
• 基板保持装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-194305   Applicant：富士写真フイルム株式会社