Pat

J-GLOBAL ID：200903083997455655

液浸式露光装置のラストレンズ

Inventor： 縄田 輝彦 ,  乾 洋治 ,  西島 英一 ,  福田 承生
Applicant, Patent owner： 株式会社トクヤマ
Agent (4)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  高畑 ちより ,  鈴木 亨
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006140667
Publication number (International publication number)：2007005777
Application date： May. 19, 2006
Publication date： Jan. 11, 2007
Summary：

【解決手段】本発明の液浸式露光装置のラストレンズは、式BaLiF3で表される結晶からなることを特徴としており、前記結晶は、好適には、式BaLiF3で表される単結晶であり、また、前記液浸式露光装置は、波長200nm以下の光源を備えていることが好ましく、より具体的には、ArFエキシマレーザー発振器またはF2エキシマレーザー発振器を備えていることが好ましい。【効果】本発明の液浸式露光装置のラストレンズによれば、光源に使用する光の波長、好適には波長200nm以下において、高屈折率、高透過率、低SBRを達成することができ、露光装置の解像度を容易に向上させることができる。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

式BaLiF3で表される結晶からなることを特徴とする液浸式露光装置のラストレン ズ。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G02B 13/14 ,  G02B 21/00

FI (3)：

H01L21/30 515D ,  G02B13/14 ,  G02B21/00

F-Term (7)：

2H052AB02 ,  2H087KA09 ,  2H087LA01 ,  2H087NA04 ,  2H087UA02 ,  5F046CB01 ,  5F046CB12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 真空紫外用光学部材およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-056618   Applicant：株式会社オプトロン, キヤノン株式会社
• フッ化物結晶からなる真空紫外領域用光学部材および光学部材用コーティング材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-031172   Applicant：エヌイーシートーキン株式会社