ガス分解装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：宮田金雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001364031
Publication number (International publication number)：2003164723
Application date： Nov. 29, 2001
Publication date： Jun. 10, 2003
Summary：

【要約】【課題】この発明は、プラズマの点火を開始するための特別な装置を必要とせず、自動的に電極間距離を調整し、その電極の長期間の使用を可能としうるガス分解装置を提供することを目的とする。【解決手段】この発明のガス分解装置は、マイクロ波発振器と、このマイクロ波発振器からのマイクロ波を伝搬する第1の導波管と、この第1の導波管に連結され、マイクロ波によりプラズマを発生させる外導体及び内導体を有する第2の導波管と、この第2の導波管に連通され、プラズマによりガスの分解反応を行う反応器と、前記内導体に接続され、前記外導体に対する間隔を狭くすることによりプラズマを起こさせるように前記内導体を所望量だけ移動させる駆動手段とを備えたものである。

Claim (excerpt)：

マイクロ波発振器と、このマイクロ波発振器からのマイクロ波を伝搬する第1の導波管と、この第1の導波管に連結され、マイクロ波によりプラズマを発生させる外導体及び内導体を有する第2の導波管と、この第2の導波管に連通され、プラズマによりガスの分解反応を行う反応器と、前記内導体に接続され、前記外導体に対する間隔を狭くすることによりプラズマを起こさせるように前記内導体を所望量だけ移動させる駆動手段とを備えたことを特徴とするガス分解装置。

IPC (3)：

B01D 53/32 , B01J 19/08 , H05H 1/30

FI (3)：

B01D 53/32 , B01J 19/08 E , H05H 1/30

F-Term (11)：

4G075AA03 , 4G075BA01 , 4G075BA05 , 4G075BD12 , 4G075CA26 , 4G075CA47 , 4G075EB21 , 4G075EB31 , 4G075EB41 , 4G075EC06 , 4G075EC21

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

フラーレンの製造方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-242986 Applicant：三菱重工業株式会社
回転型スパークギャップスイッチ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-065127 Applicant：株式会社タクマ
有機ハロゲン化合物の分解処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-358005 Applicant：三菱重工業株式会社

Cited by examiner (3)

フラーレンの製造方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-242986 Applicant：三菱重工業株式会社
回転型スパークギャップスイッチ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-065127 Applicant：株式会社タクマ
有機ハロゲン化合物の分解処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-358005 Applicant：三菱重工業株式会社

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