非接触型表面汚染検査方法、表面処理方法および装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：波多野久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997097794
Publication number (International publication number)：1998288670
Application date： Apr. 15, 1997
Publication date： Oct. 27, 1998
Summary：

【要約】【課題】被測定物である検査対象物の物体表面汚染を、母材や塗装膜等の保護膜を損傷させることなく、汚染部位を拡大させないで表面汚染検査を行なうものである。【解決手段】非接触型表面汚染検査装置10あるいは表面処理装置は、被測定物の検査対象物11に対しヘッドユニット15を相対的に移動自在に支持する。ヘッドユニット15は可撓性接続手段を介してユニットボックスに接続される一方、ヘッドユニット15は、検査対象物11の物体表面に表面検査用レーザ光を照射するレーザ光照射手段19と、物体表面から脱離したプルームを捕集するフィルタ捕集手段35と、捕集されたプルームを検出するプルーム検出手段31とを有する。プルーム検出手段31で検出された信号を処理して検査対象物11の表面汚染部位の特定ならびに表面汚染密度の定量を非接触にてドライなやり方で行なっている。

Claim (excerpt)：

被測定物の検査対象物にレーザ光を照射して上記検査対象物の物体表面に付着した汚染物を物体表面から脱離させ、脱離したプルームをフィルタ捕集手段に吸着させて捕集し、このフィルタ捕集手段に捕集されたプルームをプルーム検出手段で検出して信号処理し、検査対象物の表面汚染部位および表面汚染密度を非接触に検査することを特徴とする非接触型表面汚染検査方法。

IPC (7)：

G01T 1/169 , B05D 3/00 , B08B 5/04 , G01N 1/02 , G01N 1/28 , G21F 9/28 ZAB , G21F 9/28 511

FI (7)：

G01T 1/169 Z , B05D 3/00 D , B08B 5/04 Z , G01N 1/02 G , G21F 9/28 ZAB , G21F 9/28 511 Z , G01N 1/28 T

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

特開昭63-050736
特開昭63-050736
特開平4-168400

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