ITOの原料粉と焼結体およびそれらの製造方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：丸岡政彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997320352
Publication number (International publication number)：1998182150
Application date： Nov. 06, 1997
Publication date： Jul. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】原料粉に含まれる揮発成分により、焼成時の重量減や焼成中にポアを発生して密度を低下させることがなく、ホットプレスや酸素加圧焼成法のような高価な設備を用いないで、大気下の焼成法で大型化した焼成体が得られる製造方法とそのITO原料粉、ITO焼結体の提供。【解決手段】原料塩と沈殿剤および反応条件、仮焼条件等を規定してハロゲン化物や低級酸化物などの揮発成分の混入を防いだ原料粉を合成し、これを所定の粒度に分散させたあと、所定の流動性をもつように造粒した粉体を加圧成形し、大気中あるいは酸素富化雰囲気で焼結すれば、大型、高密度化したITOスパッタリングターゲット用焼結体を得ることができる。

Claim (excerpt)：

ハロゲン元素の含有量が30ppm以下、比表面積が15m2 /g以上であることを特徴とする酸化インジウム粉。

IPC (5)：

C01G 15/00 , C01G 19/00 , C01G 19/02 , C04B 35/457 , C23C 14/34

FI (5)：

C01G 15/00 B , C01G 19/00 A , C01G 19/02 B , C23C 14/34 A , C04B 35/00 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平4-219315
超微粒低抵抗スズドープ酸化インジウム粉末とその製法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-293931 Applicant：三菱マテリアル株式会社
特開平4-293707

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