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J-GLOBAL ID：200903084835978456

非球面コリメートミラーおよび非球面コリメートミラーの調整方法

Inventor：
森 康夫

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大石 進

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河野 健

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米谷 匡弘

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小出 大一郎

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Applicant, Patent owner：
株式会社大日本科研

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Agent (1)： 大坪 隆司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004188239
Publication number (International publication number)：2006011051
Application date： Jun. 25, 2004
Publication date： Jan. 12, 2006
Summary：
【課題】 簡易な作業により非球面コリメートミラーを理想的な放物面に加工することが可能な非球面コリメートミラーおよび非球面コリメートミラーの調整方法を提供することを目的とする。【解決手段】 非球面コリメートミラー1は、ベース部材11と、可撓性を有するミラー部材12と、点対称に配置された13個の支持部材13とを備える。ベース部材11とミラー部材12とは、支持部材13により連結されている。ここで、ミラー部材12は、そこに応力を付与しない状態においては球面形状を有する、通常の球面ミラーが使用される。この非球面コリメートミラー1においては、点対称に配置された13個の支持部材13の各々について、ベース部材11に固定された第1固定部とミラー部材12の裏面に固定された第2固定部との間隔を変更することにより、ミラー部材12の形状を任意に変更することが可能となる。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
ベース部材と、 可撓性を有するミラー部材と、 前記ベース部材に固定された第1固定部と、前記ミラー部材の裏面に固定された第2固定部と、前記第1固定部と前記第2固定部との間隔を変更可能な状態で前記第1固定部と前記第2固定部とを連結する連結部とを備えた複数の支持部材と、 を備えたことを特徴とする非球面コリメートミラー。
IPC (4)：
G02B 7/198 ,  G02B 5/10 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027
FI (5)：
G02B7/18 B ,  G02B5/10 B ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/30 515D ,  H01L21/30 509
F-Term (20)：
2H042DD06 ,  2H042DD14 ,  2H042DE04 ,  2H043BC02 ,  2H097BB03 ,  2H097CA12 ,  2H097GA45 ,  2H097JA01 ,  2H097LA10 ,  2H097LA11 ,  5F046BA02 ,  5F046CA02 ,  5F046CB02 ,  5F046CB13 ,  5F046CB14 ,  5F046DA01 ,  5F046DA16 ,  5F046DB05 ,  5F046DB11 ,  5F046DC02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 露光装置の照明光学系
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-142341   Applicant：株式会社トプコン
Cited by examiner (7)
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