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J-GLOBAL ID：200903084911703836

透明材料内部の処理方法およびその装置

Inventor： 杉岡 幸次 ,  チェン・ヤ ,  緑川 克美
Applicant, Patent owner： 独立行政法人理化学研究所
Agent (1)： 上島 淳一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004043532
Publication number (International publication number)：2005230863
Application date： Feb. 19, 2004
Publication date： Sep. 02, 2005
Summary：

【課題】透明材料内部に集光するフェムト秒レーザー光の集光位置における改質や加工などの処理が高品質にできるようにする。【解決手段】透明材料の屈折率とほぼ一致する屈折率を有する溶液中において移動自在に支持された上記透明材料の内部にフェムト秒レーザー光を集光し、上記透明材料を上記溶液中において移動することにより、上記フェムト秒レーザー光の集光位置を上記透明材料に対して相対的に移動し、上記透明材料の内部に集光した上記フェムト秒レーザー光の作用により上記透明材料の内部を処理する。【選択図】 図3

Claim (excerpt)：

透明材料の屈折率とほぼ一致する屈折率を有する溶液中において移動自在に支持された前記透明材料の内部にフェムト秒レーザー光を集光し、 前記透明材料を前記溶液中において移動することにより、前記フェムト秒レーザー光の集光位置を前記透明材料に対して相対的に移動し、 前記透明材料の内部に集光した前記フェムト秒レーザー光の作用により前記透明材料の内部を処理する 透明材料内部の処理方法。

IPC (2)：

B23K26/06 ,  B23K26/12

FI (2)：

B23K26/06 A ,  B23K26/12

F-Term (7)：

4E068CA03 ,  4E068CA11 ,  4E068CA14 ,  4E068CD02 ,  4E068CE05 ,  4E068CJ07 ,  4E068DB11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 透明材料内部の処理方法およびその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-150541   Applicant：理化学研究所, HOYAフォトニクス株式会社

Cited by examiner (4)

• 特開平4-349132
  
• 液中レーザ加工装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-160829   Applicant：株式会社小松製作所
• 透明材料内部の処理方法およびその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-150541   Applicant：理化学研究所, HOYAフォトニクス株式会社
• 特開平4-349132