ハロゲン化化合物の質量分析方法および質量分析装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：田宮寛祉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999356725
Publication number (International publication number)：2001174437
Application date： Dec. 15, 1999
Publication date： Jun. 29, 2001
Summary：

【要約】【課題】藤井式の正イオン付着法をハロゲン化化合物の質量分析に応用し、地球温暖化に大きな影響を及ぼすフッ化化合物等を正確に測定できるハロゲン化化合物の質量分析方法および質量分析装置を提供する。【解決手段】金属イオンを放出するエミッタ12と、被検出ガスが導入されかつ金属イオンによって被検出ガスがイオン化される反応室20と、イオン化された被検出ガスの分子を誘導するアパーチャ26,27等と、誘導された分子を測定する質量分析計34を備える。エミッタから放出された金属イオンを反応室に飛行させてここでイオン化が行われる。被検出ガスはハロゲン化化合物である。このハロゲン化化合物を反応室に供給する試料ガス供給源21と、反応室へハロゲン化化合物に比べて金属イオンが付着しにくいガス(N2 等)を供給するN2 ガス供給源22が備えられる。

Claim (excerpt)：

被検出ガスをイオン化し、その後に電磁気的な力を利用して前記被検出ガスの分子の質量を計測する質量分析方法において、前記被検出ガスはハロゲン化化合物であり、このハロゲン化化合物に直接に正電荷の金属イオンを付着させてイオン化することを特徴とするハロゲン化化合物の質量分析方法。

IPC (2)：

G01N 27/62 , H01J 49/10

FI (2)：

G01N 27/62 V , H01J 49/10

F-Term (8)：

5C038GG05 , 5C038GG13 , 5C038GH02 , 5C038GH04 , 5C038GH08 , 5C038HH02 , 5C038HH16 , 5C038HH28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開平1-255146
中性活性種の検出方法とその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-305146 Applicant：国立環境研究所長

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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