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J-GLOBAL ID：200903085020347911

化学増幅型感放射線性組成物

Inventor： 落合 為一 ,  新実 高明
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996027846
Publication number (International publication number)：1997222722
Application date： Feb. 15, 1996
Publication date： Aug. 26, 1997
Summary：

【要約】【課題】 高解像度を達成する感放射線性塗布組成物を提供し、露光と露光後のベークとの間の引置き時間に対して安定であり、また側壁荒れのない良好な形状を有し、実用上極めて有用なレジストパターンを得る。【解決手段】 塗膜形成性樹脂、放射線により酸を発生する化合物、及び溶媒として下記式(A)で表わされる化合物を含有することを特徴とする化学増幅型感放射線性組成物。【化1】(R1、R2、R3はハロゲン原子で置換されていても良いC1〜C3のアルキル基を表わし、相互に同じでも異なっていても良い。)

Claim (excerpt)：

塗膜形成性樹脂、放射線により酸を発生する化合物、及び溶媒として下記式(A)で表わされる化合物を含有することを特徴とする化学増幅型感放射線性組成物。【化1】(R1、R2、R3はハロゲン原子で置換されていても良いC1〜C3のアルキル基を表わし、相互に同じでも異なっていても良い。)

IPC (5)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• ポジ型感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-054121   Applicant：富士写真フイルム株式会社
• ポジ型化学増幅系レジスト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-344419   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• カラーフィルタ用感放射線性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-069769   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• レジスト塗布組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-197813   Applicant：日本合成ゴム株式会社

Cited by examiner (4)

• ポジ型感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-054121   Applicant：富士写真フイルム株式会社
• ポジ型化学増幅系レジスト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-344419   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• カラーフィルタ用感放射線性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-069769   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• レジスト塗布組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-197813   Applicant：日本合成ゴム株式会社