電子顕微方法及びそれを用いた電子顕微鏡並び生体試料検査方法及び生体検査装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：作田康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003098754
Publication number (International publication number)：2003317654
Application date： May. 19, 1999
Publication date： Nov. 07, 2003
Summary：

【要約】【課題】視差を利用した焦点補正システム等、画像ペアの位置ずれを元に補正値を求めるシステムの性能は位置ずれ解析法に大きく依存する。しかし従来採用された位置ずれ解析法は解析精度が1画素以下にならない、解析結果の信頼性を検証する機能が無い、バックグラウンド変化の影響を受け易い等の問題点があった。【解決手段】位置ずれ解析法として、画像ペアS1(n,m)とS2(n,m)のフーリエ変換像間の位相差画像P’(k,l)を計算し、該画像の逆フーリエ変換像上に現れるδ的なピークの重心位置から求める方法を採用する。【効果】位置ずれ解析精度が1画素未満になるので焦点解析精度が向上する。もしくは同じ解析精度を得るために必要な画素数を削減する事ができる。δ的なピークの強度で解析結果の信頼性を評価できる。位相成分を用いるのでバックグラウンド変化の影響を受け難い。以上の性能向上によって未熟練者でも熟練者と同等の補正が可能となる。

Claim (excerpt)：

レンズ用いて第1の電子線を集束し前記集束した電子線を試料に照射し、前記試料から透過した第2の電子線を検出する検出器と、試料を保持する試料ステージを備えた電子顕微鏡において、第1の時刻から撮影した第1の電子顕微鏡像と第2の時刻から撮影した第2の電子顕微鏡像を記録する手段と、第1及び第2の電子顕微鏡像の直交変換像の合成画像に直交変換若しくは逆直交変換を施した解析画像に発生するピークから第1の電子顕微鏡像と第2の電子顕微鏡像の位置ずれを解析する手段と、試料移動速度を表示若しくは記録する手段と、前記試料の移動を相殺する手段を具備したことを特徴する電子顕微鏡。

IPC (5)：

H01J 37/147 , H01J 37/20 , H01J 37/21 , H01J 37/22 501 , H01J 37/26

FI (5)：

H01J 37/147 A , H01J 37/20 C , H01J 37/21 A , H01J 37/22 501 Z , H01J 37/26

F-Term (6)：

5C001AA03 , 5C001CC03 , 5C033EE06 , 5C033LL03 , 5C033SS01 , 5C033SS02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

画像相関演算装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-271010 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
特開平4-329067
特開昭63-202834

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